黄光区管理规范

1. 每次匀胶机使用完毕，视情况需取下chuck，用丙酮冲洗；
2. 匀胶机托盘锡箔纸光刻胶较多时，视情况需取下更换新的；
3. 匀胶后必须看基片背面是否有光刻胶，有光刻胶禁止放在热板上;
4. 热板被污点污染，应该立刻用丙酮擦洗干净，不然过久了擦不掉;
5. 每次使用热板必须在旁边的本子上登记,发现有污点是由上一个用热板的人负责，并立马拍照通告。对热板造成污染的将由吴老师决定必要的惩罚措施。
6. 热板温度未经其他人允许不要私自调节，就算是暂时变动，也会影响实际温度；
7. 热板有温度显示时应该假定热板正在被使用；
8 光刻机最右边的氮气不用关闭，为氮气柜和防震台同时使用；
9. 光刻机前后关机和开机应大于2小时，不要刚关了又打开；
10. 掩膜板用完之后用丙酮、IPA、去离子水、氮气枪冲洗干净残胶；
11 针头视情况丢弃。废弃时需用塑料套头套住或者透明胶包住，丢入废弃有机物盒子里；
12. 废弃有机物盒子满了，用密封袋（在热板边的收纳盒内）装满，放到走道的回收盒子里面；
13. 每次做完实验通风橱用去离子水冲洗干净；

2015年7月3日